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光柵的結(jié)構(gòu)及作用簡(jiǎn)介

光珊主要是用來(lái)機(jī)床相對(duì)較高的精密檢測(cè)設(shè)備,它是一種非接觸式測(cè)量。它是運(yùn)用幾何光學(xué)展開(kāi)工作,按樣子可以分為圓光珊與長(zhǎng)光珊。圓光柵用以角速度的檢查,長(zhǎng)光柵用以直線偏位的檢查。 

光柵是運(yùn)用光散射、衍射制作而成光學(xué)測(cè)量電子器件,它一般是由光柵尺(包括尺標(biāo)光柵和標(biāo)識(shí)光柵)和光柵讀數(shù)頭兩大類。 

光柵讀數(shù)頭由燈源、鏡片、標(biāo)示光柵、光敏元件和推動(dòng)路線構(gòu)成,如下圖2-23所顯示。 

光柵的結(jié)構(gòu)及作用簡(jiǎn)介.png

普適性光珊基本上系統(tǒng)工作原理是依據(jù)物理中的莫爾條紋的建立基本要素開(kāi)展工作的,在這里不會(huì)再詳細(xì)描述。 

光柵具備以下優(yōu)點(diǎn): 

(1)響應(yīng)速度快、檢測(cè)范圍寬、精準(zhǔn)測(cè)量精確度高。測(cè)平行線偏移,精度可達(dá)0.5~3μm(300mm范圍之內(nèi)),屏幕分辨率可達(dá)0.1μm;測(cè)角位移,精度可達(dá)0.15″,屏幕分辨率可達(dá)0.1″,甚至更多。 

(2)可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)量,便于完成精確測(cè)量及數(shù)據(jù)處理方法的自動(dòng)化技術(shù)。 

(3)具有較強(qiáng)的抗干擾能力。 

(4)怕震動(dòng)、怕油漬,高精度光柵的制作成本高。


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